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蚂蚁防静电 / 2024-09-01
美国联邦标准FS209E的空气洁净度级别
空气中微粒的洁净度等级对照
空气微粒洁净等级(每立方米，每立方英尺)微粒的最大浓度限值
级别名称
级别限制
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm
容积单位
国际单位
英制单位
M3
ft3
M1
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10.0
0.283
M1.5
1
1240
35.5
265
7.50
106
3.00
1.00
M2
35000
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
M2.5
10
12400
2650
75.5
1060
30.0
353
991
7570
214
3090
87.5
1000
28.3
M3.5
26500
750
10600
300
3530
M4
75700
2140
30900
875
10000
283
M4.5
35300
247
7.00
M5
2830
618
17.5
M5.5
353000
2470
70.0
M6
1000000
28300
6180
175
M6.5
100000
3530000
24700
700
M7
100000000
61800
1750
