ESD技术在半导体器件测量工作中的应用

　　关键词：静电、ESD、静电灵敏等级

　　一、概述：

　　静电是一种电能，它存留于物体表面，是正负电荷在局部范围内失去平衡的结果，是通过电子或离子的转换而形成的。静电现象是电荷在产生和消失过程中产生的电现象的总称。
如摩擦起电、人体起电等现象。静电通常在相同或者不同材料（至少有一种不导电）的接触和分离时产生。（例如：鞋子和地毯）另一个可能性是在非导电材料表面空气的流动时产生。ESD是指静电的释放，所有电子组件都可能被ESD损坏，也可以通过向他们（人体或者机器）排放静电而带电或者先变成带电然后又释放到地面。放置在某个区域的装置会因为附近带电材料而产生静电。如果在那个区域，通过将装置接地可以将静电转移。静电破坏还可以累积，意思是说不一定是单一的静电损坏，也可能是多次静电累积到一定程度就可以对产品造成破坏。为了控制和消除ESD，美国、西欧和日本等发达国家均制定了国家、军用和企业标准或规定。从静电敏感元器件的设计、制造、购买、入库、检验、仓储、装配、调试、半成品与成品的包装、运输等均有相应规定，对静电防护器材的制造使用和管理也有较严格的规章制度要求。

　　二、由于不可能建立一套包含所有情况的程序，所以最重要的是要了解静电防护的基本原则，主要有以下几个方面：a)增加组件的静电防护，组件越小越复杂越容易受静电影响。b)避免带静电。避免使用带电材料和预防不同的潜在因素。c)使用特定的静电防护工具（例如;防静电手环，防静电鞋）d)对静电释放的管控，基本原则是：在受控（缓慢）的方式下把已经带的电经由释放路径释放掉。（例如：元器件——人——静电环——接地）e)对产品的保护，使用抗静电包装防止产品带电。

　　三、分类：不同产品对ESD 的敏感程度是不一样的，这取决于他们的设计或者是用于保护装置（如：保护二极管）。因此，这些组件可以分成四个敏感等级：静电电灵敏等级分类（表1）名称 级别 静电敏感电压静电甚敏感器件Class 1ESD ≤ 2000V

　　静电敏感器件Class 22000V ＜ESD ≤ 4000V

　　静电中等敏感器件Class 34000V ＜ESD ≤ 16000V

　　非静电敏感器件Class 4ESD>16000V