无尘用户普遍通过肉眼来辨别无尘布的材质、或者用水来验一下吸收率、洁净度来评估无尘抹布的好坏。不过在半导体行业的洁净室中对无尘擦拭布尘粒、离子、ESD等有很高的要求。小编为此提供了一些评估无尘抹布的更精准的测试方法。

     无尘布需进行严格测试以达到性能要求和污染控制标准，一般无尘布需进行以下测试:

     1.测量静电压：不摩擦，拆开包装放置一段时间后，直接测量表面的静电压

    2. 测量摩擦电压：摩擦无尘布，然后马上测量表面的静电压。

    3. 测量静电衰减时间：把无尘布放置在CPM上，充上5KV或者1KV的电压，然后再用接电线接触无尘布，看衰减到500V或者100V需要多长时间。

    4. 测量表面两点间电阻：把无尘布平摊在一块绝缘板上，上面放置2个5磅重的电极（距离约30cm），测量两端的电阻。

    5. 测量表面电阻：把无尘布平摊在一块绝缘板上，用表面电阻测试仪压在上面，测量表面电阻。

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