在微电子生产现场，必须设定静电敏感区域EPA，并且要做明显警示，使到现场的每个人都能注意。对在静电敏感区域内活动人员也要做好防静电措施

1. 操作者应该佩戴防静电腕带，应该穿着防静电服装，防静电鞋，防静电帽子，椅子要配备防静电椅子

   有成本要求的工厂也可采用防静电椅套。（一端与人体接触，另一端与地线相连）

2. 有可能放置PBA的区域内要铺设防静电桌垫，并且要联结防静电接地扣。条件好的企业可配备防静电

   工作台

3. 静电敏感区域内所有的物品产生的静电不能超过100V的，静电区域内的容器应该用防静电材料，电

   阻系数不得大于10的9次方欧姆。

4. 如果某一点静电敏感区域无法有效的接地，这时应该采用去离子风机来消除物体表面静电。注：不可

   在防静电区域内放置与生产活动无关的物品。

　　为了保证防静电产品的防静电效果静电敏感区域的环境湿度以50%~60%左右为宜。

                                    静电敏感区域的防静电产品配置图