洁净室之定义

　　洁净室（Clean Room），亦称为无尘室或清洁室。

　　「洁净室」是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制   在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能特性。

　　洁净室最主要的作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。